Zaštita okoliša poluprovodničke industrije
Kako se povećava svijest ljudi o okolišu, tako se povećava pažnja na pitanja zaštite okoliša. Imamo samo jednu planetu. Kako zaštititi životnu sredinu u razvoju ekonomije postala je hitna tema. Smanjiti opterećenje globalnog okruženja, osigurati sigurnost i zdravlje i zaštititi okoliš. Ušteda energije za uštedu resursa, recikliranje otpada, smanjenje otpada i upravljanje ispuštanjem hemijskih supstanci postali su konsenzus ljudi za zaštitu životne sredine. U saradnji sa promocijom ISO14000 sertifikacije i ciljem izgradnje zelene fabrike u 21. stoljeću, ljudi su poduzeli aktivne napore u zaštiti okoliša. Posebnost industrije za proizvodnju poluprovodnika učinila je da različite industrije posvete više pažnje pitanjima zaštite okoliša.
Sprečavanje efekta globalnog zagrijavanja
Sprečavanje efekta globalnog zagrevanja Zemlje postalo je vruća tema koja je široko zabrinuta poslednjih godina. U poluprovodničkoj industriji postoje dva glavna problema:
1. Ušteda energije
Proizvodna oprema za poluvodičku industriju, oprema za klimatizaciju, oprema za proizvodnju hladne / toplotne energije i upotreba čiste vode, dovoda tečnosti, izduvnih gasova, gasa, električne opreme itd., Rade neprekidno 24 sata dnevno, 365 dana u godini, i troše mnogo energije. Od vrste potrošnje energije, električna energija i energija čine oko 85%, a izvori energije kao što su gorivo i para čine 15%. Od upotrebe potrošnje energije, predprocesna proizvodna oprema je oko 40% -50%, klima uređaj, hladno / toplotna oprema je oko 30%, a druga pomoćna oprema je oko 25%.
Štednja energije, smanjenje troškova i poboljšanje konkurentnosti proizvoda zadaci su koje kompanije već dugo primjenjuju. S jedne strane, kroz tehnološku transformaciju postojeće opreme, mogu se ostvariti značajne ekonomske koristi, ali s druge strane, ulaganje u fabrike poluvodiča sada je Ogromno, razvoj tehnologije je izuzetno brz. Kao poluprovodnička industrija, budući pravci istraživanja o očuvanju energije trebaju biti napravljeni u sljedećim aspektima:
Oprema za proizvodnju: poboljšava efikasnost pretvorbe energije i na taj način poboljšava iskorištenje energije za postizanje ciljeva uštede energije; smanjuju potrošnju energije u stanju pripravnosti u opremi, odgovarajuće smanjuju opterećenje klima uređaja radi postizanja uštede energije; smanjuje kapacitet ispušnih plinova Opterećenje za tretman ispušnih plinova se smanjuje kako bi se postigla ušteda energije; područje instalacije opreme je smanjeno kako bi se kontrolisala površina zone čišćenja radi postizanja uštede energije.
Pomoćna oprema: minijaturizacija opreme; smanjenje površine područja visokog pročišćavanja radi smanjenja potrošnje energije cirkulacije zraka radi uštede energije; korištenje sistema za klimatizaciju s niskim gubitkom tlaka; korištenje novih izolacijskih materijala za promicanje izglađivanja potrošnje energije; Koristite ugljen dioksid koji nastaje tokom procesa smanjenja potrošnje energije.
Razvoj proizvoda i dizajn procesa: razvoj proizvoda visoke dodane vrijednosti; troškovno orijentisan razvoj proizvoda (smanjenje površine čipa, standardizacija procesa, skraćivanje ciklusa dizajna); povećanje proizvodnje (povećanje izlazne brzine, smanjenje broja inženjeringa i skraćivanje vremena testiranja).
Sam razvoj industrije poluprovodnika postao je visokih performansi, lagan, tanak i niskoenergetski. Doprinosio je pravcu uštede energije za mašine i opremu. Radujemo se uvođenju nove opreme za očuvanje energije.
2. Smanjite PFC
PFC (PREFLUOROCARBON) se uglavnom koristi u CVD tehnologiji za proizvodnju poluprovodnika, kao plin za čišćenje i kao procesni plin u inženjerstvu suhog jetkanja. PFC je uključen u smanjenje emisija zbog svoje sposobnosti da uništi Zemljin ozonski omotač. Većina njih nije direktno obrađena i ispuštena direktno u atmosferu, a smanjenje emisije PFC-a je važno pitanje s kojim se suočava industrija poluprovodnika u budućnosti.
Budući pravci istraživanja će se fokusirati na sljedeće aspekte:
Razvoj ispuštenog PFC sistema za recikliranje (uključujući kako efikasno i ekonomično reciklirati, odvojiti i poboljšati PFC); razvoj novih tehnologija za preradu PFC-a (pretvaranje PFC-a u emisije stakleničkih plinova); razvoj alternativnih gasova (zamena gasova koji se trenutno koriste sa gasovima sa malim koeficijentom globalnog zagrevanja; razvoj novih procesa (istraživanje novih procesa graviranja).
Plan Japana da kontroliše emisiju PFC-a u elektronskoj industriji, najavljen u aprilu 1998. godine, predlaže cilj smanjenja baziran na 1995. godini. Linija je smanjena za 10%. Sjedinjene Države su također postavile cilj za stopu oporavka PFC-a koja se koristi u poluvodičkoj industriji. U ovom slučaju, domaći igrači industrije su pozvani da pažljivo razmotre ovo pitanje.